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高頻放電(Radio-FrequencyDischarge)

高頻放電的頻率一般為10M～100MHz，這一頻率屬于無線電頻譜范圍，因此又稱為射頻(RF)放電，根據(jù)國際通用的規(guī)則射頻放電的頻率為13.56MHz。射頻放電能產(chǎn)生和維持高密度、連續(xù)、均勻的等離子體，高頻放電時，由于頻率很高，帶電粒子在電場周期內(nèi)還未運動到極板，電場就發(fā)生了改變，帶電粒子在電場作用下向反方向移動，如此往復形成振蕩，因為粒子的運動行程很長，增加了與氣體分子碰撞的機率，電離度比直流輝光放電高出幾個數(shù)量級，而且可以在較低的電壓下維持。射頻放電在較高和較低的氣壓下都能放電，在工業(yè)中有不同應用。與直流放電相比，射頻放電有以下優(yōu)勢：

1. 較低的氣壓條件下仍能放電，放電維持能量低，由于帶電粒子在極間做往復運動，大大增加了電離機率，因此在較低的氣壓條件下仍能夠維持放電，形成穩(wěn)定的等離子體，最低壓強可達10-1Pa。
2. 射頻放電的粒子運動機制決定了具有較高的電離度。
3.等離子體分布均勻。

射頻放電裝置有很多種結(jié)構(gòu)型式，根據(jù)電極在放電室的位置區(qū)分，可分為外電極和內(nèi)電極；根據(jù)射頻電源的耦合方式區(qū)分，可分為電容耦合和電感耦合，如圖1-1所示。

圖1-1 射頻放電裝置示意圖
(a) 電容耦合 ; (b) 電感耦合

電容耦合式多采用平板式電極，電極位于放電室內(nèi)，在兩極板之間加射頻功率，電場激發(fā)放電，并形成穩(wěn)定的等離子。電容耦合式結(jié)構(gòu)簡單，等離子密度較直流放電高很多，尤其是大規(guī)模生產(chǎn)的化學反應裝置，平板式電極放電區(qū)域大、穩(wěn)定性好、效率高，很容易獲得大面積的加工處理能力。

外電極放電通常采用電感耦合式，用纏繞在放電管外部的感應線圈代替電極，利用高頻磁場在放電管內(nèi)感應的二次電場來產(chǎn)生等離子體，這種方式感應耦合線圈安裝在真空室外，內(nèi)部無電極，不存在濺射污染問題，同時感應耦合式產(chǎn)生的等離子體比較均勻，能滿足高純材料的制備和高精度的清洗要求。